Müşteri Arkaplanı
Fabless bir yarı iletken şirketi gelişmiş düğüm çip üretimini dış kaynaklara devreye alıyor.Mevcut temiz odaları 193nm daldırma litografisi için sıkı titreşim ve hava saflığı gereksinimlerini karşılayamadı., verim kaybına neden oluyor.
İhtiyaçlar ve Zorluklar
·Wafer yüzeyinde ISO Sınıf 5 (Sınıf 100).
·Sıkı bir sıcaklık kontrolü: Fotolitografi bölgesi boyunca 22 ± 0,1 °C.
·Kısa duraklama süresi: Mevcut bayı yeniden düzenlemek için sadece 1 ay kullanılabilir.
Çözüm
·Mini-çevre tasarımı: Fan filtresi ünitesi (FFU) ve AMC için kimyasal filtrelerle stepper izole edildi. Araç zarfının içinde ISO 4 elde edildi.
·Aktif titreşim yalıtımı: VC-D kriterlerini karşılamak için beton inersi bloğu + pnevmatik yalıtımlar.
·Yüksek hassasiyetli HVAC: Yeniden ısıtma ile çift soğutulmuş su döngüsü, artı değişken hava hacmi (VAV) terminalleri.
·Önceden yapılmış paneller: Cam-lock eklemleri ile tesis dışında üretilen paslanmaz çelik paneller. Planlı bir bakım kapanışı sırasında kurulur ‡ 25 gün içinde tamamlanır.
![]()
![]()
Müşteri Yorumları
Yaning, alet gereksinimlerimizi diğer temiz oda müteahhitlerinden daha iyi anlıyordu.
Tesis Müdürü, Yarım iletken müşterisi
Özet
Yaning, temiz oda mühendisliği alanında uzmanlaşmış.Modüler çözümlerimiz, üretim sektöründeki temiz üretim bölgeleri için ideal bir seçimdir.